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光刻胶有哪些分类

来源:深圳市迈晶电子有限公司         添加时间:2018-12-01

光刻胶有分类如下:

光刻胶是LCD液晶屏光刻工艺的主要材料,光刻胶种类很多,目前国内外的光刻胶品种已达40多种。根据光刻胶曝光前后溶解度特性的变化,可将光刻胶分为正性胶和负性胶两大类。

1,负性胶

这种胶在曝光前对某些有机溶剂(丙酮,丁酮,环已酮)是可溶性的,曝光后发生光聚合反应,不溶于有机溶课剂。当用它进行光刻时,在衬底表面将得到与光刻掩模版遮光图案完全相反的图形,故称之为负性胶。目前,它主要由聚肉桂酸脂类,聚脂类和聚烃类(环化像胶)等组成。

2,正性胶

这种胶在曝光前对某些溶剂是不可溶的而曝光后却变成了可溶的。使用这种胶光刻时,能得到与光刻掩模版遮光图案相同的图形,故称为正性胶。正性胶目前主要由邻迭氮醌型化合物(感光性),苯骈三氮唑(增感剂)和乙二醇单乙酸丁脂(溶剂)组成。

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